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半导体制造工厂使用的搬送系统

点击: 次  来源:莒县搬家 时间:2024-11-08 14:09:46 

可在空中高架轨道上行驶从而带动载体,。

其主要用于在指定的保管设备(例如负责成膜和冲洗的工序区的存储库)之间搬送载体,“OHS”是Over Head Shuttle的简称, , OHS (空中走行式穿梭车) 一种自动化搬送装置,其也称为“工序区间搬送系统”。